CVD镀膜设备

在石英腔内充入乙炔气和空气，在高温作用下，发生不完全化学反应，析出高纯石墨，镀在工具表面上。设备特点：采用不锈钢铠装加热器外加热烘箱，加热...

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在石英腔内充入乙炔气和空气，在高温作用下，发生不完全化学反应，析出高纯石墨，镀在工具表面上。

设备特点：

采用不锈钢铠装加热器外加热烘箱，加热均匀，控温精度高。

一键启动，抽尊龙体育（中国集团）有限公司，充气，加热，控温控压，石英钟罩和加热烘箱升降全自动。

技术指标:

尊龙体育（中国集团）有限公司度可以达到1×10^-1 Pa

加热温度≤600 ℃

温度误差±2℃

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